天合光能取得石墨舟专利，提高了晶片表面镀膜的均匀性
2024-02-01 08:44:29 来源： ()　评论：0 点击：

天合光能取得石墨舟专利，提高了晶片表面镀膜的均匀性

　　2024年1月29日消息，据国家知识产权局公告，天合光能股份有限公司取得一项名为“石墨舟“的专利，授权公告号CN220393901U，申请日期为2023年6月。

　　专利摘要显示，本申请提供一种石墨舟，包括多个石墨片、垫块、舟脚和连接件，各个石墨片平行设置，连接件将各个石墨片相连，垫块与连接件相连，用于间隔各个石墨片，舟脚与靠近石墨舟底部的垫块相连，用于支撑石墨舟;舟脚和至少部分垫块设有沿平行石墨片长度的方向贯穿的通风孔。本申请在舟脚和至少部分垫块设置了通风孔，工艺气体可穿过通风孔，从而提高舟脚和垫块附件的工艺气体浓度，提高了工艺气体分布的均匀性，进而提高了晶片表面镀膜的均匀性。